靶材寬度58,100,110,127,135,150,200mm
冷卻方式：直接，間接冷卻
磁場強度：普通，強磁
磁場類型：平衡，非平衡，高利用率，高濺射速率
適用電源：DC/Pulsed-DC/MF/RF(RF需說明)
特點：
1.高靶材利用率>40%，大大降低靶材費用
2.寬靶面刻蝕，減少靶面打火
3.磁鋼不泡水，長陰極壽命
4.優化陰極冷卻系統，最高使用溫度可達到450℃
5.陰極冷卻主動報警裝置，降低陰極燒毀風險
6.可開發定制，提供陰極2D/3D圖紙，方便設計人員選型
功能：用于各類金屬和非金屬靶材的濺射沉積.
