圓形陰極設計特點：
1.水冷采用大截面直接水冷結構，縮短磁鐵和靶材間距；
2.主體支架采用聚四氟乙烯材料，提高了絕緣性能；
3.所有電的引入部分，采用高純無氧銅材料，降低了接入電阻分布；
4.磁鐵采用高均勻性釹鐵硼材料，提高了水平磁場強度和分布均勻性。
磁控濺射陰極具有如下優點：
1.適用于高功率密度濺射，濺射速率高；
2.濺射陰極使用壽命長；
3.靶材利用率高，達到40%以上；
4.濺射薄膜厚度均勻性和成份一致性好，可以達到±3%以內。
圓形陰極規格：
陰極型號 | 擋板模式 | 適用電源 | 靶材規格 | 氣路分布 | 磁場設計 |
2in.圓形陰極 | 手動、氣動 | DC/P-DC/RF | Φ50mm | 可選 | 強磁/標準 |
3in.圓形陰極 | 手動、氣動 | DC/P-DC/RF | Φ76mm | 可選 | 強磁/標準 |
4in.圓形陰極 | 手動、氣動 | DC/P-DC/RF | Φ100mm | 可選 | 強磁/標準 |
