在這一工藝中，組件在真空室中進行清潔，然后由輻射加熱器進行加熱。 通過調節工藝溫度和壓力，使組件上面的污染物全部蒸發掉。
在這一工藝中，使用側流式風機吹干工件。 氣流的流量和壓力是影響干燥度的關鍵因素。 氣流的溫度也影響干燥處理的有效性。
在這一工藝中，首先排出洗濯室中的空氣。 加壓注入流體清洗(16 巴)還可以清潔隱藏的空心通道和凹陷部分。
通過真空干燥，可以使鏜盲孔、狹窄的潤滑通道甚至內部通道等難以清理的部位得到完全干燥，空隙或曲面不會殘余任何水分。 在這一工藝中，在洗濯室中產生真空。 當壓力下降到低于要清除的液體的蒸氣壓力時，液體會蒸發，從而達到部件干燥的目的。
蒸發的大部分蒸氣進入真空泵上面的冷凝液分離器中。 空氣中殘余的蒸氣由真空泵去除。 根據部件的污臟程度，采用水或溶劑洗滌劑。 在某些情況下，需要使用通過 ATEX 認證的真空泵來清除可能具有爆炸性質的溶劑洗滌劑。
