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磁控復合PECVD設備

磁控復合PECVD設備

  • 所屬分類:鍍膜系統
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  • 發布時間:2024-04-20 14:02:43
  • 產品概述

該系統由磁控濺射、PECVD、真空獲得部分、真空測量部分、氣路部分、電源控制部分等組成??捎糜谥苽浣饘倌?、介質膜以及實驗室新材料研究領域。

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